國家知識產權局信息顯示,蘇州聯訊儀器股份有限公司取得一項名為“一種硅光晶圓測試設備和硅光晶圓測試系統”的專利,授權公告號CN223870284U,申請日期為2024年12月。專利摘要顯示,本實用新型公開了一種硅光晶圓測試設備,包括相機組件、偏折光路組件、探針臺、光纖耦合模組;用于驅動探針臺和偏折光路組件相互切換的移動至相機組件和光纖陣列的光纖端部的下方的驅動組件;夾持光纖陣列的光纖端部的光纖耦合模組;當探針臺移動至相機組件的下方時,將相機組件的攝像頭的十字光標調整至和硅光晶圓的切割道相互平行;當偏折光路組件移動至相機組件的成像視野內時,相機組件用于通過偏折光路組件采集第一側向圖像和第二側向圖像,并采集垂直圖像;利用光纖耦合模組根據上述圖像將光纖端部進行調節,以使光纖端部和光波導之間對位耦合。